マイクロマシン

まいくろましん

超小型の機械のこと。現実に実現しているものはMEMSと呼ばれることが多い。

概要

マイクロマシンとは、微小な機械のこと。おおむね1ミリメートル前後から、マイクロメートル（ミリメートルの1000分の1）以上のサイズのシステムのことを指す。辛うじて目に見えるケシ粒サイズから、大きめの細菌程度の大きさである。

マイクロメートル未満のナノメートル単位の機械のことはナノマシンという。まだ概念上の存在にとどまるナノマシンとは異なり、マイクロマシンは既に現実に広く存在している。

MEMS

生体血管内で自走するロボットのようなものは古くから考えられていたが、実用化が進んだのは1980年代ごろから。現実世界のマイクロマシン技術は主に半導体製造技術を応用して作り出されたMEMS(Micro Electro Mechanical System)と呼ばれ、1990年代以降、微小センサーやインクジェットプリンターのヘッドなどに広く応用されようになった。