概要
マイクロマシンとは、微小な機械のこと。おおむね1ミリメートル前後から、マイクロメートル（ミリメートルの1000分の1）以上のサイズのシステムのことを指す。辛うじて目に見えるケシ粒サイズから、大きめの細菌程度の大きさである。
マイクロメートル未満のナノメートル単位の機械のことはナノマシンという。まだ概念上の存在にとどまるナノマシンとは異なり、マイクロマシンは既に現実に広く存在している。
MEMS
生体の血管内で自走し、病気の検査や治療に役立てるロボットのようなものは古くから考えられていたが、従来の機械加工技術の延長線上では実現が難しく、長年SFの存在にとどまっていた。
半導体製造技術を応用したマイクロマシンの大量生産が実現したのは1980年代ごろからである。現実世界のマイクロマシン技術はMEMS(Micro Electro Mechanical System)と呼ばれ、1990年代以降、微小センサーやインクジェットプリンターのヘッドなどに広く応用されている。
1mm以下の「マイクロボット」もすでに研究試作が進んでおり、地震で倒壊した建物で生存者を探索したり、生物の体内を探索したりといった応用が期待されている。
